【类型】期刊
【书名】杂质磷对单晶硅微结构疲劳特性的影响：基于PARIS公式的分析
【丛书名】机械工程学报
【作者】 刘彬，陶俊勇，张云安，陈循，王晓晶
【关键词】 掺磷 Paris公式 单晶硅微梁 弯曲疲劳寿命 微机电系统
【作者单位】国防科学技术大学装备综合保障技术重点实验室
【年份】2014
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